光刻机

光刻线条特征尺寸：
  应用实例1：深紫外光源下0.25um线条
  Scanning Electron Micrographs 电子显微镜图像
  Feature Sizes图像尺寸0.25微米线条
  采用TOK DUV 光刻胶，200nm光学镜，光刻胶厚度0.45微米。曝光时间40秒。